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Class 100 Clean Ovens

Lab Companion 無塵高溫箱系列最高工作溫度300°C。
客戶的標準樣品進入處理流程，均在符合 ISO14644-1 class5* 標準的環境中運行。所有污染微粒的來源完全密封。不銹鋼內壁易清洗，光澤的白色環氧樹脂涂層外墻能防止微粒脫落的污染。
*Federal 209E Class100 標準在2001年已由ISO14644-1 class 5標準取代。

一．用途:
Lab Companion 無塵(chen)高溫(wen)(wen)箱系列用于(yu)半導體制造中硅片、砷化鎵(jia)、鈮酸(suan)鋰(li)、玻(bo)璃等(deng)材料涂(tu)膠前的(de)預處(chu)理烘烤、涂(tu)膠后堅膜(mo)烘烤和顯影后的(de)高溫(wen)(wen)烘烤；也(ye)適(shi)用于(yu)電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等(deng)生產及科研(yan)部門；也(ye)可用于(yu)非揮發性及非易燃易爆物品的(de)干燥、熱處(chu)理、老化等(deng)其他高溫(wen)(wen)試驗。

二．特點：
1.在普(pu)通環境下使用，能夠確保烘箱內部(bu)等級達到Class 100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠(jiao)破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺(tai)本(ben)身(shen)所產生微塵；
3.采平(ping)面水平(ping)由后向前(qian)送風(feng)(feng)后經(jing)美國進(jin)口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前(qian)門(men)(特殊風(feng)(feng)道設(she)計)方向送風(feng)(feng)，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟(qi)閉風(feng)(feng)門(men))
4.強制(zhi)送(song)風循(xun)環方式。雙風道循(xun)環結構，溫(wen)度場分(fen)布均勻，智能P.I.D溫(wen)控系統，得(de)到*佳溫(wen)度控制(zhi)精度。

三．產(chan)品技(ji)術參(can)數：

1.主要技術指標：
 無塵等級：Class 100;                  

 溫(wen)度(du)范圍： RT+20～ +200℃/+300℃；

溫度均勻度：200℃±4℃;             

溫度波動(dong)度：±0.5℃（空載）        

溫控(kong)精(jing)度(du)：±0.1℃;                        

工作尺寸：216L ,324L,768L,無塵等級和尺寸可根據(ju)要求定(ding)制。
       

電源：380v , 50Hz，        

網板：2塊（高度可(ke)調節)

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